低溫無油真空泵的無油低溫真空機組,它用干100米3以下的容器無油抽氣真空設備,壓力范圍在10～5-4×10-6帕之內(nèi)。 為了從真空室里抽出≥87%的氣體,便使用由液氮冷卻的具有下列參數(shù)的低溫無油真空泵:工作壓強范圍100-11.5仟帕;壓強9.3仟帕;對空氣的抽氣速率從0.02改變到0.1米3/秒,這與低溫泵工作狀態(tài)直接相關(guān);液氮的單位消耗量,包括低溫泵冷卻到工作溫度的消耗量為6.2升/米3;抽出的氣體的數(shù)量為100米3。 KΦ-3型雙級氦低溫泵對H2和 He的剩余氣體具有抽氣能力。(低溫無油真空泵